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Conax在半导体与光电中的运用
Conax作为在标准和定制设计的化学气相沉积工具温度传感器组件设计制造行业,包括器件的可靠性测试压缩密封配件和馈入装置,及相关配件。我们广泛的专业知识延伸到:
●晶圆加工,包括外延生长过程监测、扩散和氧化炉型和穗热电偶,钢锭加热、离子注入、湿台温度传感器以及更多
●发光二极管(LED)和微型机电系统(MEMS),包括金属有机化学气相沉积(MOCVD)、分子束外延(MBE)和离子注入
●封装和测试,包括所馈入偏差监测和温度监测
●光伏行业解决方案,包括光纤真空密封装置精确阶段运动测量
●现在Conax研发了一个突破性的新技术,延长石英热电偶套管在ASM Epsilon 堆高达3倍更长的生命
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