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多晶硅还原炉测温

针对多晶硅还原炉内硅材料、硅化合物对红外线吸收的问题,以及观察窗上可能存在的无定型硅和硅油对红外线能量的衰减问题,使用雷泰(RAYTEK)专用Endurance双色测温仪。该采用双波长设计,通过接收两个相邻波长的红外能量做对比,能有效的抗击干扰,精确的反应硅棒的温度。

雷泰(RAYTEK)Endurance双色测温仪能自适应硅棒直径的变化,高精度、高重复性的接收硅材料的热辐射,以适应硅棒直径大范围变化的状态。

鉴于工艺现场可能存在的氢气泄露,雷泰(RAYTEK)红外测温仪采用了防爆保护套,达到Exid II CT6防护等级,以适合现场防爆的工艺环境,并且还能有效隔绝现场电磁干扰。

1) 采用目镜一体式方案,具有良好的防爆、抗干扰能力。

2) 针对氢还原炉观察窗特点,选用较大光学镜头的探头,探头进光量大,可最大限度吸收红外能量,测量准确。

3) 采用双波长设计,只需要5%的能量到达探头就可以准确的测量温度。能有效的消除硅棒、硅化合气体,观察窗污渍对测温的干扰,保证测温准确性。

4) 采用0.75~1/0.95~1.1微米的双比色波长,不但完全响应多晶硅的辐射波长(0.9~1.1),而且能有效的消除水和玻璃对红外线的阻挡。

5) 独特的“脏镜头”功能,能实时显示探头和硅棒之间被干扰和阻挡的情况,比如观察窗玻璃镜片上有污渍。

6) 独特的自适应功能(焦距自动调整),不管是5mm的芯棒,还是200mm的成品,均能准确的测量其温度。

7) 目镜式测温系统采用窄视场设计,能将能量接受面聚焦在硅棒上,避免环境温度和热场变化对温度测量的干扰。

8) 通过专用的分析记录软件,能远程对探头进行状态监控、管理和参数设置,每个网络最大支持32个探头。并能生成温度曲线,和历史记录,对设定温度进行报警显示。

9) 目镜/激光瞄准型探头防爆保护套采取防爆设计,达到Ex id II CT6防护等级。

10) 提供标准的420mA020mA)信号,方便的接入现场DCS系统,并提供485数字接口,能远程进行管理。